微小气体质量流量计（Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，特别是对于微小质量流量的测量和控制。D600系列数字型气体质量流量计/控制器精度高、重复性好、稳定性高、工作压力范围宽，广泛应用于能源、电力、化工、医疗、半导体等各个领域。

【气体流量计产品特点】

◆ 本地高清晰中文液晶显示；
◆ 适用极低的流量，精确测量各种量程的流量，最低量程0~5 SCCM( 标准毫升/分钟）；
◆ 数字、模拟量输入输出；
◆ 可连接上位机软件控制运行；
◆ 极低的零漂和温漂；
◆ 多气体、多量程、高精度，响应时间短；
◆ 多种可量程可供选择：
流量规格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM

（注： SCCM :标准毫升/分钟； SLM: 标准升/分钟）

【气体流量计技术参数】

产品名称   气体质量流量计,微小流量气体流量计   

适用介质   洁净、干燥的气体（不能含水汽、油）   

量程范围（N2)   (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM   

公称压力   0～10MPa   

环境温度   5～65℃   

测量精度   ±1.0%   

响应时间   < 1秒   

壳体材质   不锈钢；   

供电方式   外供7～16VDC（带电源适配器）；   

输出信号   4～20mA；0～5V；RS232/RS485   

差压范围   0.05～0.3MPa；   

表头显示   累积流量；瞬时流量；工作模式；阀控状态   

连接方式   卡套连接Φ3,Φ6,Φ8,Φ10